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洁净室/无菌室净化工程的分类

净化工程是指洁净室的设计和施工,也称为洁净室或洁净室或无菌室。净化工程是应用行业非常广泛的基础配套产业。它目前(21世纪)应用于电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航空航天、汽车喷涂等许多行业,对行业的精度和无尘要求也相差很大。随着电子元器件向小型化方向发展,液晶面板已经升级到第八代,行业需求非常巨大。

净化工程主要包括:净化车间、洁净室、洁净室、洁净室、无菌室、医院手术室、净化装饰工程;从事空气淋浴房、转换窗、自动洗手烘干机、风机过滤单元FFU、超净工作台的生产,洁净棚不锈钢桌椅、架子等,其清洁技术通常包括:空气净化技术、空调技术、水净化技术、气体净化技术。

净化工程分类:

乱流式:

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空气通过洁净室中的风道和空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并通过洁净室两侧的隔墙板或高架地板返回。气流不是直线运动,而是处于不规则的湍流或旋涡状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。

优点:结构简单,系统建设成本高,洁净室扩建相对容易,在一些特殊使用场所,无尘工作台可以一起使用,提高洁净室水平。

缺点:紊流产生的细颗粒粉尘不易在室内排放,易污染工艺产品。此外,如果系统停止并重新启动,通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

层流式:

层流气流进入均匀的直线,空气通过100%覆盖的过滤器进入房间,通过活动地板或两侧的隔墙返回空气。此类型适用于需要设置更高洁净室级别的环境。一般情况下,洁净室等级为1~100级。其类型可分为两种:

(1) 水平层流:水平空气从过滤器向一个方向吹出,空气从对面墙的回风系统返回。粉尘随风排放在室外,下游污染普遍严重。

优点:结构简单,操作后短时间内即可稳定。

缺点:施工成本高于紊流式,室内空间不易扩展。

(2) 垂直层流:房间顶棚全覆盖ULPA过滤器,空气自上而下吹,可获得更高的洁净度。工艺产生的粉尘或工作人员产生的粉尘可迅速排出室外,不影响其他工作区域。

优点:管理方便,运行后能在短时间内达到稳定状态,不易受运行状态或运行人员的影响。

复合式:

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复合式是将紊流式和层流式结合或使用,可提供局部超洁净空气。

(1) 洁净通道:采用高效空气过滤器或ULPA过滤器对工艺区或工作区进行100%覆盖,将洁净度提高到10级以上,可节约安装和运行成本。这种类型需要将操作员的工作区域与产品和机器维护隔离,以避免影响工作和质量

在机器维护期间。超大规模集成电路制造工艺大多采用这种类型。

清洁隧道还有两个优点:A.伸缩性好;B.维修设备时,可在维修区进行。

(2) 清洁管道:对产品流程通过的自动化生产线进行环绕和净化,使清洁度达到100以上。由于本产品与操作人员和粉尘环境隔离,少量空气可获得良好的清洁度,既节能又不需要人工自动化,非生产线最适合使用。适用于制药、食品、半导体等行业。

(3) 安装清洁点(清洁点):将湍流洁净室产品工艺区的清洁度等级从10000至100000提高到10至1000或以上,用于生产;清洁工作台、清洁工作棚和清洁风柜属于这一类。

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